Prucessu di basa di rivestimentu JKL PVD

(1) Trattamentu pre-PVD, cumprese a pulizia di l'articuli è u pretrattamentu.I metudi di pulizia specifichi includenu a pulizia di detergenti, a pulizia di solventi chimichi, a pulizia ultrasonica è a pulizia di bombardamentu di ioni.
(2) Mettite in furnace, cumprese a pulizia di a camera di vacuum è l'attrezzi, è a stallazione, a cumissioni è a cunnessione di l'articuli è l'attrezzi.
(3) Vacuuming, giniralmenti pumping à 6.6Pa o di più, apre u fronte di a pompa di diffusione prima di mantene a pompa di vacuum è riscalda a pompa di diffusione.Dopu à preheating hè abbastanza, u valve altu hè apertu è pumped à un vacuum 6 x 10-3 Pa half fondu cù una pompa diffusion.
(4) Cottura, coce l'articuli à a temperatura desiderata.
(5) U bumbardamentu di ioni, u vacuum hè in generale 10 Pa à 10-1 Pa, u voltage di bombardamentu di ioni hè un altu voltage negativu di 200 V à 1 KV, è u tempu d'attaccu hè di 15 min à 30 min.
(6) Pre-melting, aghjustendu u currente per pre-melt u materiale, aghjustendu u currente per pre-melting u plating è degassing per 1min ~ 2min.Depositu in evaporazione.U currente di evaporazione hè aghjustatu cum'è necessariu finu à u tempu di deposizione desideratu hè finitu.Cooling, l'articuli sò rinfriscati à una certa temperatura in a camera di vacuum.
(7) Dopu chì l'articuli hè pigliatu, a camera di vacuum hè chjusa, u vacuum hè evacuatu à l × l0-1Pa, è a pompa di diffusione hè rinfriscata à a temperatura permessa prima di a pompa di mantenimentu è l'acqua di rinfrescante pò esse disattivata.
 


Tempu di Postu: Settembre-07-2021